金融界2025年3月22日音信加多撸，国度常识产权局信息走漏，北京朔方华创微电子装备有限公司恳求一项名为“负载锁定组件及半导体工艺开辟”的专利，公开号CN119650456A，恳求日历为2023年9月。

赵小贝

专利摘录走漏，本发明提供一种负载锁定组件及半导体工艺开辟，负载锁定组件，用于半导体工艺开辟，包括：负载锁定腔室；预调压腔室；扫尾阀，扫尾阀流畅在负载锁定腔室与预调压腔室之间；在扫尾阀的关闭现象，预调压腔室里面事前调养至与负载锁定腔室不同的气压现象，酿成压力差；在扫尾阀的开启现象，预调压腔室与负载锁定腔室连通以调养负载锁定腔室内的气压本发明的负载锁定组件通过增多预调压腔室，不错在进行其他表率步地前调养预调压腔室内的气压，在与负载锁定腔室连通明，使负载锁定腔室里面快速达到真空现象或大气现象，减少晶圆在传输流程中的恭候本领，擢升整机传输后果。

天眼查贵寓走漏，北京朔方华创微电子装备有限公司，建立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册老本114153.708311万东谈主民币，实缴老本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标时势1014次，财产陈迹方面有商标信息43条，专利信息5000条，此外企业还领有行政许可339个。

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